인베니아는 '유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치' 관련 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
인베니아 측은 "현재 대면적 건식식각장비에 우선 적용 예정"이라며 "이를 통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 기술수준이 향상될 것"이라고 설명했다.
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