12일 테스는 ‘플라즈마 처리장치’ 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “각 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지 및 조절이 가능하다”며 “제품 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 공시했다.
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