테스가 디스플레이 장비에 적용하는 박막증착장치로 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
테스는 “공정 수행 시 공정가스에 의해 챔버 내부 증착 공간의 하부 등에 파우더가 쌓이는 것을 방지할 수 있고 발생을 억제할 수 있어 증착효율성이 개선될 것”이라고 설명했다.
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