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기업정보&공시

테스, 반도체 장비용 실리콘나이트라이드막 관련 특허 취득

코스닥 상장사인 테스가 실리콘나이트라이드막의 건식식각방법에 대한 기술로 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.