로체시스템즈, 기판 반송 장치 특허취득

 

로체시스템즈는 기판 반송 장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.

회사측은 “웨이퍼 수납용기와 공정장비 사이에서 웨이퍼의 반송을 행하는 기판 반송 장치에 관한 것”이라며 “당사 이송장비에 적용될 예정”이라고 밝혔다.