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테스는 리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.
회사측은 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.
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