테스, 박막증착 장치 관련 국내 특허 취득

테스는 3일 원자층증작법을 활용한 박막증착장치에 대한 한국 특허권을 취득했다고 공시했다.

해당 특허는 기판에 대한 박막을 증착할 때 원자층증작법을 통해 증착되는 막 두께의 균일도를 향상시키기 위한 기술이다.

테스 측은 “장비 제조 시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 수 있다”고 설명했다.