로체시스템즈는 기판 반송 장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.
회사측은 “웨이퍼 수납용기와 공정장비 사이에서 웨이퍼의 반송을 행하는 기판 반송 장치에 관한 것”이라며 “당사 이송장비에 적용될 예정”이라고 밝혔다.
'기업정보&공시' 카테고리의 다른 글
| 락앤락, 지난해 영업이익 289억원..전년대비 19% 증가 (0) | 2021.01.21 |
|---|---|
| 삼화페인트, 지난해 영업이익 150억..전년대비 33.5% 증가 (0) | 2021.01.21 |
| 한미반도체, 中화천과기와 공급계약 체결 (0) | 2021.01.21 |
| 대성쎌틱, 롯데 보일러사업 인수 (0) | 2021.01.21 |
| 삼일제약, 지난해 영업이익 66억..전년대비 35.9% 증가 (0) | 2021.01.21 |